“就像EUV光刻机。”
张汝金也回以微笑。
两个人的神情让众人纷纷一惊！
特别是李明柳，他更是惊讶无比——连他都不知道EUV的进展呢！
于是李明柳眉毛一扬：“EUV国产了？”
苏远山再次笑着望向众人：“国内即将启动验证机了——虽然落后了五年，但在大家的同心协力之下，好歹有了个盼头。对了，此事暂时不宜公开。”
“好了，先休息会，接下来讨论芯片业务。”
……
……
下午，会议提前结束，苏远山下楼便直接走向停车场，却不料李明柳这家伙比他更早一步地站到了车门边。
“你干啥？”苏远山见他拉开车门，哭笑不得。
“知道你要去宏芯那边，我也过去看看。”李明柳一脸的坦然，随着傅振华呵呵地开锁，他一把拉开车门，先一步钻了进去。
苏远山：“……”
不得已，苏远山也钻进了后座，随后韩依依替他关上车门，回到前排后，傅振华便启动汽车，缓缓驶向大门。
苏远山偏头望向李明柳，看了几眼后摇头感慨：“你这家伙，老张都没你积极。”
“老张是腿脚不利索了，再说他那边本来就有宏芯的实验室，时刻关注到的……我一天到晚哪有空过去啊？”李明柳耸了耸肩，随即便正色起来：“你刚才说验证机，是设计中还是什么？”
“据说已经设计完了。”
“嗯，是全反射式的？光源搞定没有？”
“光源据说还差一点，但验证机嘛，主要是验证思路的，不是要解决所有问题的。”苏远山深深地吸了口气，轻声道。
他确实很想看看宏芯这边的验证机设计方案是什么样子的。
——在后世，EUV光刻机的概念图到处都是，但在现在……即便是ASML前两年“断粮”的时候，都没有公开设计图。
李明柳听了便点了点头，不再说话。
汽车一路驶出大门，上了正道后在右侧拐了个弯，紧接着又前进了两千米左右，便抵达了宏芯的大门。
当看到车牌和挡风玻璃下的通行证后，门口的保安直接放行。奥迪便沿着一条弧形的园区路驶向光学实验中心。
头发白了一般，但精神异常矍铄的郑振川领着一大群人站在门口，看到苏远山的座驾后，远远地便挥舞起了手。
……
“郑叔！”苏远山呵呵地伸出双手，和郑振川紧紧的握着。
随后，李明柳倒是矜持了点，只是一只手握着，不过他喊的是“郑所”。
——一段很多人已经忘记了的历史是，当初远芯支援成光所搞第一台光刻机的时候，李明柳是远芯团队的负责人，他曾经在成光所呆了接近一年，期间还和设计工程师拍过桌子。
“哈哈，小山，明柳，里边请！”郑振川容光泛发，哈哈大笑着，引着二人走向楼内。
都不是外人，郑振川自然不需要客套，他直接把二人带进了自己的办公室。
“郑所，你这是会议室吧？”
进屋后，李明柳看着堪比一间教室大小的办公室，便有些忍不住笑了起来——他和苏远山不一样，他是第一次来这边。
“办公室，平时这边放的是模型什么的，然后还有学生也在这边，今天你们要过来，就收拾了一下。”郑振川笑眯眯地看着李明柳，突然之间便有些感慨起来：“明柳，我还记得当初你们过来的时候，这一晃……都十六年了？”
“差不多得有十六年了。”
“嗯，当初的帅小伙也变成中年人了。”郑振川一边走向自己的办公桌，一边打趣道。
“这位从少年都成中年人了呢。”李明柳坐到沙发上，笑呵呵地望向苏远山。
“咳……”苏远山咳嗽一声：“郑叔，我还赶着回家吃饭呢。”
“回啥家？来了我这你还走得掉么？”郑振川笑着回到，然后抱着笔记本便走到了茶几旁。
看着笔记本，苏远山和李明柳同时一笑。
嗯，笔记本是远芯的Xbook7。
郑振川从腰间取出一个加密U盘插入笔记本，又操作了几下后，便将屏幕转向苏远山和李明柳。
“这是验证机的设计方案，也是目前的最终设计方案。”
苏远山微微点头，眼睛却渐渐亮了起来。
原因无它，因为这……和他所见过的EUV光刻机，是“一样”的。
之所以“一样”要打引号，是因为记忆过去太久远了……苏远山已经无法记清楚细节，只能说，他看着设计图，便感觉到了一股熟悉。
这意味着……在现有的EUV的理论框架下，无论是ASML也好，还是宏芯也好，他们的思路……是殊途同归的！
而既然是殊途同归，那么接下来比的，就看谁的供应链，谁的设备供应商更牛逼了！
——这也是为什么，郑振川要在第一时间把喜讯告诉他的原因。
因为普天之下，在半导体这个领域，就算是宏芯，ASML，尼康，佳能……这些光刻机生产商，要论对半导体领域的影响力，也不如远芯。
要搞定设备和零部件供应商，远芯是个最好的中间人。
而这个忙，苏远山显然愿意帮。
李明柳也凑过头来，他比苏远山要跟兴奋一些，不断地翻着页面，最后视线停在整体设计图上，抬头问道。
“机械仿真全过了？”
郑振川笑眯眯地点头：“当然。”
李明柳看了苏远山一眼，继续问道：“零部件的要求高吗？”
“高，不是一般的高。”郑振川知道李明柳这人聪明绝顶，当年如果不是实在不好意思，他是真想把李明柳留下来的——当然，后面证明了，李明柳确实聪明绝顶，而且他也真留不下来。
“国内能满足多少？”苏远山这时也顺着李明柳的话问道。
听到这，郑振川便微微叹了口气：“小山，明柳，我不瞒你们。国内这十几年，虽然精密加工有了长足的进步，但EUV这种……可靠性需求还是太高了。国内没有几家能够满足我们条件的。”
“现在我们就有点类似首都精密那边的双工件台，虽然我们能设计出来，但真要完成全面国产和国内替代，那确实是有点不现实。”
李明柳微微皱眉，苏远山却不动声色，反而微微点了点头。
确实，这是事实。
越是高度精密的机械，越是不可能一蹴而就。宏芯能够设计出来，就已经是开了诺大的“挂”了。
要再让国内一直落后的高精尖机械加工领域实现全面替代……
那这台EUV何德何能敢自称现代工业的奇迹？
做梦都不敢这么做好吧。
“那现在，最主要的已知问题是什么？”沉吟几秒后，苏远山望向郑振川。
“是光源吗？”
“是，应该是。”郑振川笑了起来：“我们不可能比ASML走得更快的。”
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